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半导体学报 2011
Design and fabrication of a micro electromagnetic vibration energy harvester
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Abstract:
设计了一种新型的电磁能量采集器,将横向振动能转变为电能。该能量采集器主要包括折叠梁,永磁体和螺旋形铜线圈结构,器件设计的固有频率为274Hz。电磁模拟显示磁感应强度随着永磁体与线圈的间距增大而急剧减小。通过MEMS技术制作出器件模型,在242Hz共振频率下,加速度为0.5g(g=9.8m/s2)时,能量采集器输出电压峰峰值为28mV,最大输出功率为0.55uW。