%0 Journal Article
%T Design and fabrication of a micro electromagnetic vibration energy harvester<br>一种微型电磁式振动能量采集器的设计与制作
%A Wang Peng
%A Li Wei
%A Che Lufeng
%A <br>王鹏
%A 李伟
%A 车录锋
%J 半导体学报
%D 2011
%I 
%X 设计了一种新型的电磁能量采集器，将横向振动能转变为电能。该能量采集器主要包括折叠梁，永磁体和螺旋形铜线圈结构，器件设计的固有频率为274Hz。电磁模拟显示磁感应强度随着永磁体与线圈的间距增大而急剧减小。通过MEMS技术制作出器件模型，在242Hz共振频率下，加速度为0.5g(g=9.8m/s2)时,能量采集器输出电压峰峰值为28mV,最大输出功率为0.55uW。
%K electromagnetic energy harvester
%K MEMS
%K resonance
%K permanent magnet<br>电磁能量采集器
%K MEMS
%K 谐振
%K 永磁体
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=A0C0AC355ED3D7743DBAD6E7489E4F7F&yid=9377ED8094509821&vid=9971A5E270697F23&iid=F3090AE9B60B7ED1&sid=A744C4696012E14A&eid=E158A972A605785F&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=11