φ200mm太阳能电池用直拉硅单晶生长中导流系统的研究

利用数值模拟，对CZ硅单晶生长系统中导流系统调整和改进，得到不同导流系统下的氩气流场和全局温场. 研究发现在导流系统中引入导流筒及冷却功能后，氩气流场得到明显的改善，晶体中纵向温度梯度均匀性改善，固液界面趋于平坦，有利于结晶潜热的散发和单晶径向电阻率的均匀性. 研究表明改进导流系统能提高结晶潜热散发速率，有利于提高晶体拉速.