%0 Journal Article
%T φ200mm太阳能电池用直拉硅单晶生长中导流系统的研究
%A 任丙彦
%A 褚世君
%A 吴鑫
%A 于建秀
%A 孙秀菊
%J 半导体学报
%D 2008
%I 
%X 利用数值模拟，对CZ硅单晶生长系统中导流系统调整和改进，得到不同导流系统下的氩气流场和全局温场. 研究发现在导流系统中引入导流筒及冷却功能后，氩气流场得到明显的改善，晶体中纵向温度梯度均匀性改善，固液界面趋于平坦，有利于结晶潜热的散发和单晶径向电阻率的均匀性. 研究表明改进导流系统能提高结晶潜热散发速率，有利于提高晶体拉速.
%K 数值模拟
%K 直拉硅单晶
%K 结晶潜热
%K 导流筒
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=A9DA638914E2167CF8DB1A6167AC803A&yid=67289AFF6305E306&vid=771469D9D58C34FF&iid=9CF7A0430CBB2DFD&sid=D227C2A170C3A3E4&eid=3F94E028184E4B65&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=1&reference_num=9