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半导体学报 2008
Monolithic Integrated Switches and Logic Control Circuits with E/D-Mode GaAs PHEMTs
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Abstract:
利用GaAs基 E/D PHEMT 技术单片集成微波开关及其逻辑控制电路的制作工艺和设计方法，采用0.8μm GaAs E/D PHEMT工艺，制备出性能良好的解码器功能内置的DC~10GHz SPDT MMIC，基本实现逻辑电路与开关电路的集成. 开关电路在DC~10GHz内插入损耗小于1.6dB，隔离度大于24dB；整个电路只需要1位控制信号，有效地减少了开关电路的控制端口数目，节省了芯片面积，为GaAs多功能电路的研究奠定了基础.
