Porous waveguide facilitated low divergence quantum cascade laser
多孔波导小发散角量子级联激光器

本文报道了激射波长为4.5μm带有多孔结构波导的量子级联激光器，具体器件工艺首先采用电化学腐蚀方法在脊形两侧制作出树枝状多孔结构，后续步骤在其中填充入金属材料。与普通脊形器件相比，带有多孔结构的新型器件具有更好的光束质量。此种半导体-金属混合结构对高阶模光反馈吸收作用较强，可对高阶横模产生明显的抑制作用，最终实现远场发散角达4.9°的基横模激射。