%0 Journal Article
%T Porous waveguide facilitated low divergence quantum cascade laser<br>多孔波导小发散角量子级联激光器
%A Yin Wen
%A Lu Quanyong
%A Liu Wanfeng
%A Zhang Jinchuan
%A Wang Lijun
%A Liu Junqi
%A Li Lu
%A Liu Fengqi
%A Wang Zhanguo
%A <br>尹雯
%A 陆全勇
%A 刘万峰
%A 张锦川
%A 王利军
%A 刘俊岐
%A 李路
%A 刘峰奇
%A 王占国
%J 半导体学报
%D 2011
%I 
%X 本文报道了激射波长为4.5μm带有多孔结构波导的量子级联激光器，具体器件工艺首先采用电化学腐蚀方法在脊形两侧制作出树枝状多孔结构，后续步骤在其中填充入金属材料。与普通脊形器件相比，带有多孔结构的新型器件具有更好的光束质量。此种半导体-金属混合结构对高阶模光反馈吸收作用较强，可对高阶横模产生明显的抑制作用，最终实现远场发散角达4.9°的基横模激射。
%K quantum cascade laser
%K ridge waveguide
%K porous structure
%K electrochemical etching<br>量子级联激光器
%K 多孔结构
%K 光束发散角
%K 波导结构
%K 脊形波导激光器
%K 腐蚀过程
%K 金属材料
%K 光束质量
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=9CB13B1D439D6A76964379E38928A1B5&yid=9377ED8094509821&vid=9971A5E270697F23&iid=B31275AF3241DB2D&sid=39D2F37E5B65C649&eid=E158A972A605785F&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=0