|
半导体学报 2010
A novel fabrication approach for an athermal arrayed-waveguide grating
|
Abstract:
提出了一种制作无热AWG的新颖方法,采用了专利设计的ITU-T中心波长调节装置、简单的方法来耦合被切开两部分、以及毛细渗透的点胶方式。波长调节精度达到1pm。这种无热实现方案没有带来任何光谱恶化,其光谱几乎同原始芯片一样。这种40通道100GHz通道间隔平顶型无热AWG,在-40 to 85℃范围内,中心波长漂移±22pm,插损变化小于±0.11dB。