%0 Journal Article
%T A novel fabrication approach for an athermal arrayed-waveguide grating<br>无热阵列波导光栅的新颖制作方法
%A Zhou Tianhong
%A Ma Weidong
%A <br>周天宏
%A 马卫东
%J 半导体学报
%D 2010
%I 
%X 提出了一种制作无热AWG的新颖方法，采用了专利设计的ITU-T中心波长调节装置、简单的方法来耦合被切开两部分、以及毛细渗透的点胶方式。波长调节精度达到1pm。这种无热实现方案没有带来任何光谱恶化，其光谱几乎同原始芯片一样。这种40通道100GHz通道间隔平顶型无热AWG，在-40 to 85℃范围内，中心波长漂移±22pm，插损变化小于±0.11dB。
%K AWG
%K optical waveguide filter
%K planar lightwave circuit
%K wavelength division multiplexing<br>阵列波导光栅，光波导滤波器，平面光波导，波分复用
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=7B01B8C4E6810521E41802109B4A7440&yid=140ECF96957D60B2&vid=4AD960B5AD2D111A&iid=CA4FD0336C81A37A&sid=5CD766995C41BDE5&eid=38B194292C032A66&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=11