A Decoupled Silicon Micromachined Gyroscope with Vibration Isolation Frame
一种具有隔振框架的解耦硅微陀螺

提出了一种利用隔振框架解耦的硅微陀螺，其驱动模态和检测模态不仅有各自独立的支撑结构，还有各自独立的惯性质量块，隔振框架隔离了驱动结构和检测结构，减小了模态之间的交叉耦合；利用TMAH湿法腐蚀结合深反应离子刻蚀工艺，在n型〈100〉低阻硅片上制作出了微陀螺样片，并为其研制了配套的测控电路；测试结果表明，驱动模态频率为2.981kHz，品质因子为800，检测模态频率为2.813kHz，品质因子为34，刻度因子为38mV/(°/s)，线性度优于0.8%，微陀螺在0.5h内的零偏稳定度为0.28°/s.