%0 Journal Article
%T A Decoupled Silicon Micromachined Gyroscope with Vibration Isolation Frame<br>一种具有隔振框架的解耦硅微陀螺
%A Xiao Dingbang
%A Wu Xuezhong
%A Li Weidong
%A Dong Peitao
%A Hou Zhanqiang
%A Li Shengyi
%A <br>肖定邦
%A 吴学忠
%A 李伟东
%A 董培涛
%A 侯占强
%A 李圣怡
%J 半导体学报
%D 2008
%I 
%X 提出了一种利用隔振框架解耦的硅微陀螺，其驱动模态和检测模态不仅有各自独立的支撑结构，还有各自独立的惯性质量块，隔振框架隔离了驱动结构和检测结构，减小了模态之间的交叉耦合；利用TMAH湿法腐蚀结合深反应离子刻蚀工艺，在n型〈100〉低阻硅片上制作出了微陀螺样片，并为其研制了配套的测控电路；测试结果表明，驱动模态频率为2.981kHz，品质因子为800，检测模态频率为2.813kHz，品质因子为34，刻度因子为38mV/(°/s)，线性度优于0.8%，微陀螺在0.5h内的零偏稳定度为0.28°/s.
%K silicon micromachined gyroscope
%K decoupled structure
%K vibration isolation frame<br>硅微陀螺
%K 解耦结构
%K 隔振框架
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=908DC721339FB46BB249CF99554AE522&yid=67289AFF6305E306&vid=771469D9D58C34FF&iid=59906B3B2830C2C5&sid=40A990D28C8AD2F3&eid=E9A7A8D3BBC7E2A3&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=13