A compressed wide period-tunable grating working at low voltage
低驱动电压的压缩式大周期可调谐光栅

设计并制作了一种周期可调谐的MEMS光栅，为了获得大的周期调谐比、减少不稳定性和提高光栅性能，采用了带预弯曲折叠梁结构的大位移梳齿驱动器来压缩光栅条，实现周期调节。实验结果表明，在37V电压下，光栅整体被压缩144μm，光栅周期可从16μm连续调节至14μm，对应的周期调谐比为12.5%。用波长为632.8nm的He-Ne激光测试了光栅的衍射性能，一级衍射光最大调谐角度为0.34°，光栅在中红外区的反射率超过92.6%。该光栅制作工艺简单，易于集成，可应用于中红外光谱仪。