%0 Journal Article
%T A compressed wide period-tunable grating working at low voltage<br>低驱动电压的压缩式大周期可调谐光栅
%A Liu Xiang
%A Li Tie
%A Ming Anjie
%A Wang Yuelin
%A <br>刘翔
%A 李铁
%A 明安杰
%A 王跃林
%J 半导体学报
%D 2010
%I 
%X 设计并制作了一种周期可调谐的MEMS光栅，为了获得大的周期调谐比、减少不稳定性和提高光栅性能，采用了带预弯曲折叠梁结构的大位移梳齿驱动器来压缩光栅条，实现周期调节。实验结果表明，在37V电压下，光栅整体被压缩144μm，光栅周期可从16μm连续调节至14μm，对应的周期调谐比为12.5%。用波长为632.8nm的He-Ne激光测试了光栅的衍射性能，一级衍射光最大调谐角度为0.34°，光栅在中红外区的反射率超过92.6%。该光栅制作工艺简单，易于集成，可应用于中红外光谱仪。
%K period-tunable grating
%K compressed structure
%K comb-drive actuator
%K MEMS<br>周期可调光栅
%K 压缩式结构
%K 梳齿驱动器
%K MEMS
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=42900589411C546F0A24DFFC44B3BAE2&yid=140ECF96957D60B2&vid=4AD960B5AD2D111A&iid=F3090AE9B60B7ED1&sid=DE98253FB855AA78&eid=B31275AF3241DB2D&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=0