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ISSN: 2333-9721
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Preparation and Photoluminescence Characteristic of SnO: Sb Thin Films
SnO2∶Sb薄膜的制备和光致发光性质

Keywords: SnO2∶Sb薄膜,射频磁控溅射,光致发光

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Abstract:

用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备出SnO2∶Sb薄膜.制备样品为多晶薄膜,具有纯氧化锡的四方金红石结构和(110)择优取向,Sb离子以替位式掺杂的形式存在于SnO2晶格中.室温条件下对样品进行光致发光测量,在392nm附近观测到强的紫外-紫光发射,发射强度随制备功率的增加而增强,且样品退火后发射强度也明显增强.紫外-紫光发射的起源被归于由Sb形成的施主能级和受主能级之间的电子跃迁.

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