Optimization for Top DBR’s Reflectivity in RCE Photodectector
RCE光电探测器顶部DBR的优化(英文)
Liang Kun,
CHEN Hong-da,
DENG Hui,
DU Yun,
TANG Jun,
WU Rong-han,
梁琨,
陈弘达,
邓晖,
杜云,
唐君,
吴荣汉
Keywords: vertical-cavity surface-emitting laser,resonant-cavity-enhanced photodetector,distributed Bragg reflector,free-space optical interconnects
垂直腔面发射激光器(VCSEL),谐振腔增强型(RCE)光电探测器,分布式布拉格反射镜(DBR),自由空间光互连(FSOI)
Abstract:
对研制的 VCSEL 结构外延片制成的谐振腔增强型 (简称 RCE)光电探测器进行了物理分析和实验研究 ,由于 VCSEL 与 RCE光电探测器对谐振腔反射镜的反射率要求不同 ,通过腐蚀 VCSEL 器件顶部 DBR,改变顶镜反射率 ,能够得到量子效率峰值和半宽优化兼容的 RCE光电探测器 ,实现 VCSEL 与 RCE探测器的单片集成 .
Full-Text
