%0 Journal Article
%T Optimization for Top DBR’s Reflectivity in RCE Photodectector<br>RCE光电探测器顶部DBR的优化(英文)
%A Liang Kun
%A CHEN Hong-da
%A DENG Hui
%A DU Yun
%A TANG Jun
%A WU Rong-han
%A <br>梁琨
%A 陈弘达
%A 邓晖
%A 杜云
%A 唐君
%A 吴荣汉
%J 半导体学报
%D 2001
%I 
%X 对研制的 VCSEL 结构外延片制成的谐振腔增强型 (简称 RCE)光电探测器进行了物理分析和实验研究 ,由于 VCSEL 与 RCE光电探测器对谐振腔反射镜的反射率要求不同 ,通过腐蚀 VCSEL 器件顶部 DBR,改变顶镜反射率 ,能够得到量子效率峰值和半宽优化兼容的 RCE光电探测器 ,实现 VCSEL 与 RCE探测器的单片集成 .
%K vertical-cavity surface-emitting laser
%K resonant-cavity-enhanced photodetector
%K distributed Bragg reflector
%K free-space optical interconnects<br>垂直腔面发射激光器(VCSEL)
%K 谐振腔增强型(RCE)光电探测器
%K 分布式布拉格反射镜(DBR)
%K 自由空间光互连(FSOI)
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=409FF0917A8754E2&yid=14E7EF987E4155E6&vid=BC12EA701C895178&iid=E158A972A605785F&sid=0493D643315CD829&eid=09AA1448D1EAF9C1&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=6&reference_num=2