A novel antifuse structure based on amorphous bismuth zinc niobate thin films
基于非晶态铌酸锌铋薄膜的新型反熔丝器件

本文提出了一种基于非晶态铌酸锌铋（a-BZN）介质材料的新型反熔丝器件并对其性能特征进行了研究。考察了a-BZN反熔丝器件的关态特性，选用从上至下的编程方向对反熔丝器件进行击穿，其击穿电压约为6.56V。获得了a-BZN反熔丝器件的关态电阻，约为1GΩ。表征分析了击穿后的a-BZN反熔丝器件的表面形貌。研究了a-BZN反熔丝器件的编程特性以及编程后的开态特性，结果表明a-BZN反熔丝器件所需编程时间约为0.46ms，编程后其开态电阻约为26.1Ω。对比分析了a-BZN反熔丝器件与结晶态铌酸锌铋（cp-BZN）反熔丝器件和栅氧反熔丝器件在性能特征等方面的差异。