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Keywords: MOVPE法,AlGaAs,GaAs,量子阱结构,光致发光
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用常压MOVPE系统,采用AsH3、国产TMGa和TMAI生长了AI0.35Ga0.65As/GaAs多量子阱结构.在11K下,宽度为10A的阱PL半峰竞最窄为12meV,表明量子阱结构具有陡峭的界面.光致发光(PL)测试结果显示,较低的生长速率和适当的生长中断时间有利于改善PL半峰宽.
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