符合法弹性前冲测量重掺锑硅中氧含量

本文以能量为２７ＭｅＶ的（１２）Ｃ做为入射粒子束，采用符合法弹性前冲（ＣＥＲＤＡ）定量测量了重掺锑硅中氧含量，证实重掺锑硅中氧含量较普通直拉硅要低约４０％，且随着锑含量增加，氧含量下降．对ＣＥＲＤＡ法测量原理及影响测量精度的因素进行了分析与讨论．