%0 Journal Article
%T 符合法弹性前冲测量重掺锑硅中氧含量
%A 徐岳生
%A 刘彩池
%A 李养贤
%A 朱则韶
%A 王红梅
%A 韦伦存
%J 半导体学报
%D 1995
%I 
%X 本文以能量为２７ＭｅＶ的（１２）Ｃ做为入射粒子束，采用符合法弹性前冲（ＣＥＲＤＡ）定量测量了重掺锑硅中氧含量，证实重掺锑硅中氧含量较普通直拉硅要低约４０％，且随着锑含量增加，氧含量下降．对ＣＥＲＤＡ法测量原理及影响测量精度的因素进行了分析与讨论．
%K VLSI
%K 掺杂
%K 锑
%K 硅
%K 测量
%K 符合法弹性前冲
%K 重掺硅
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=4CB46324E4920CB8&yid=BBCD5003575B2B5F&vid=7801E6FC5AE9020C&iid=9CF7A0430CBB2DFD&sid=2E4E3741E8FB64E9&eid=6D25DD85174CF6DB&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=2