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Keywords: 红外探测器,量子阱,砷化镓,砷化镓铝
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本文报道10×16元二维面阵GaAs/AlGaAs多量子阱红外探测器的研究进展.通过表面光栅耦合,采用垂直入射的工作模式,在T=80K时探测率为2.9e10cm·Hz(1/2)/W,电压响应率为1.3e4V/W.各测试单元间探测率和电压响应率的偏差小于18%,串音小于0.45%,在最大探测率偏置条件下,器件的暗电流密度为6.2e-)A/cm2.
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