%0 Journal Article %T GaAs/AlGaAs多量子阱二维面阵红外探测器 %A 李晋闽 %A 郑海群 %A 曾一平 %A 孔梅影 %J 半导体学报 %D 1995 %I %X 本文报道10×16元二维面阵GaAs/AlGaAs多量子阱红外探测器的研究进展.通过表面光栅耦合,采用垂直入射的工作模式,在T=80K时探测率为2.9e10cm·Hz(1/2)/W,电压响应率为1.3e4V/W.各测试单元间探测率和电压响应率的偏差小于18%,串音小于0.45%,在最大探测率偏置条件下,器件的暗电流密度为6.2e-)A/cm2. %K 红外探测器 %K 量子阱 %K 砷化镓 %K 砷化镓铝 %U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=D90099BEAD0AFA5C&yid=BBCD5003575B2B5F&vid=7801E6FC5AE9020C&iid=CA4FD0336C81A37A&sid=B6DA1AC076E37400&eid=987EDA49D8A7A635&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=1