铁电-硅微集成系统

铁电-硅微集成系统(FSMIS)是铁电材料与硅工艺相结合的产物,在微电子机械系统(MEMS),存储器等多方面具有极为重要的应用价值.本文介绍了几种重要的硅基铁电膜的制备方法和几种典型的FSMIS应用方向,并对FSMIS领域的未来发展作出展望.