%0 Journal Article
%T 铁电-硅微集成系统
%A 李志坚
%A 任天令
%A 刘理天
%J 半导体学报
%D 1999
%I 
%X 铁电-硅微集成系统(FSMIS)是铁电材料与硅工艺相结合的产物,在微电子机械系统(MEMS),存储器等多方面具有极为重要的应用价值.本文介绍了几种重要的硅基铁电膜的制备方法和几种典型的FSMIS应用方向,并对FSMIS领域的未来发展作出展望.
%K 铁电薄膜
%K 硅
%K 微集成系统
%K FSMIS
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=3DB0DEEF574D918C&yid=B914830F5B1D1078&vid=A04140E723CB732E&iid=38B194292C032A66&sid=6425DAE0271BB751&eid=B1F98368A47B8888&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=13&reference_num=8