碲镉汞表面氧化特性的光电子能谱研究

利用X射线光电子谱（XPS）对HeCdTe表面氧化特性进行了研究，对不同工艺过程中的HeCdTe表面进行了测量、分析，结果表明流镉汞表面的自身氧化与工艺密切相关，说明HgCdTe表面钝化前的预处理直接影响钝化层／HgCdTe的界面特性．