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ISSN: 2333-9721
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Research on Tiny Electro-Optic Probe
微型电光探针的研制

Keywords: wet etching,electro-optic detection,electro-optic probe
湿法腐蚀,电光检测,电光探针

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Abstract:

介绍了用湿法化学腐蚀的方法制备GaAs晶体微型电光探针 .用光学显微镜和扫描电子显微镜观察了探针形貌 .微探针为金字塔形 ,底座是边长为 2 0 μm的正方形 ,尖端尺寸在 2 μm左右 .侧面比较光滑 ,棱角分明 .微型电光探针整体尺寸很小 ,在外电光检测系统中可以显著降低对被测电场的影响 ,从而提高测量精度 .

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