%0 Journal Article
%T Research on Tiny Electro-Optic Probe<br>微型电光探针的研制
%A Li Hailan
%A Jia Gang
%A Zhang Xiaoting
%A Zhou Zhixiong
%A Chen Zhanguo
%A <br>李海兰
%A 贾刚
%A 张晓婷
%A 周志雄
%A 陈占国
%J 半导体学报
%D 2002
%I 
%X 介绍了用湿法化学腐蚀的方法制备GaAs晶体微型电光探针 .用光学显微镜和扫描电子显微镜观察了探针形貌 .微探针为金字塔形 ,底座是边长为 2 0 μm的正方形 ,尖端尺寸在 2 μm左右 .侧面比较光滑 ,棱角分明 .微型电光探针整体尺寸很小 ,在外电光检测系统中可以显著降低对被测电场的影响 ,从而提高测量精度 .
%K wet etching
%K electro-optic detection
%K electro-optic probe<br>湿法腐蚀
%K 电光检测
%K 电光探针
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=7DD396D59411CC50&yid=C3ACC247184A22C1&vid=EA389574707BDED3&iid=F3090AE9B60B7ED1&sid=4759DE41370E2E7A&eid=C17A97755771D03C&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=4