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OALib Journal期刊
ISSN: 2333-9721
费用：99美元
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1.3μm Si-Based MOEMS Optical Tunable Filter with a Tuning Range of 90nm
具有90nm调谐范围的1.3μm Si基MOEMS可调谐光滤波器(英文)
Zuo Yuhua, Huang Changjun, Cheng Buwen, Cai Xiao, Mao Rongwei, Li Chuanbo, Luo Liping, Gao Junhua, Bai Yunxia, Jiang Lei, Ma Chaohua, Zhu Jialian, Wang Liangchen, Yu Jinzhong, Wang Qiming,
左玉华, 黄昌俊, 成步文, 蔡晓, 毛容伟, 李传波, 罗丽萍, 高俊华, 白云霞, 姜磊, 马朝华, 朱家廉, 王良臣, 余金中, 王启明
Keywords: MOEMS,Fabry,Perot,tunable filter,surface micromaching
MOEMS,可调谐滤波器,Fabry-Perot,表面微机械技术
Abstract:
利用表面微机械技术,成功制作了1.3μm Si基MOEMS可调谐光滤波器.原型器件在5 0 V的调谐电压下,调谐范围为90 nm.该技术可以用于制作1.3μm Si基可调谐光探测器. Full-Text
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