%0 Journal Article
%T 1.3μm Si-Based MOEMS Optical Tunable Filter with a Tuning Range of 90nm<br>具有90nm调谐范围的1.3μm Si基MOEMS可调谐光滤波器(英文)
%A Zuo Yuhua
%A Huang Changjun
%A Cheng Buwen
%A Cai Xiao
%A Mao Rongwei
%A Li Chuanbo
%A Luo Liping
%A Gao Junhua
%A Bai Yunxia
%A Jiang Lei
%A Ma Chaohua
%A Zhu Jialian
%A Wang Liangchen
%A Yu Jinzhong
%A Wang Qiming
%A <br>左玉华
%A 黄昌俊
%A 成步文
%A 蔡晓
%A 毛容伟
%A 李传波
%A 罗丽萍
%A 高俊华
%A 白云霞
%A 姜磊
%A 马朝华
%A 朱家廉
%A 王良臣
%A 余金中
%A 王启明
%J 半导体学报
%D 2003
%I 
%X 利用表面微机械技术,成功制作了1.3μm Si基MOEMS可调谐光滤波器.原型器件在5 0 V的调谐电压下,调谐范围为90 nm.该技术可以用于制作1.3μm Si基可调谐光探测器.
%K MOEMS
%K Fabry
%K Perot
%K tunable filter
%K surface micromaching<br>MOEMS
%K 可调谐滤波器
%K Fabry-Perot
%K 表面微机械技术
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=7C18928C9F0BC161&yid=D43C4A19B2EE3C0A&vid=B91E8C6D6FE990DB&iid=708DD6B15D2464E8&sid=D932AD0F8FDA3032&eid=EEBB803F60D7DC4B&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=8&reference_num=9