Study of In Situ Measurement of Residual Tensile Stress in Thin Films for T-Shaped Microstructures
T形结构在位测量薄膜中残余张应力的理论研究

Keywords: stress,film,flection
应力,膜,变形

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Abstract:

给出了考虑梁的轴向载荷情况下理论计算公式的推导过程 ,在变形较大时两种公式计算结果最大相差9.6 5 % .用 L PCVD技术制作了几种大小不同的 T形梁结构 ,给出了残余张应力与杨氏模量比值 .

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