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ISSN: 2333-9721
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硅中与钼有关能级的研究

Keywords: 硅,钼,能级,能级瞬态谱,电子辐照

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Abstract:

利用深能级瞬态谱(DLTS)技术,并通过电子辐照、等时热退火等物理过程,鉴别了Si中与钼有关能级的本质.钼在Si中产生两个主要能级E(0.53)和H(0.36),前者为受主态,后者为施主态,这两个能级都与替位Mo原子有关.

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