|
半导体学报 1998
几种掺杂浓度的GaAs表面Si-δ掺杂结构研究Abstract: 本文利用了光调制光谱(PR),原位测量了GaAs(001)表面Si-δ掺杂结构样品,研究了不同掺杂浓度对Si-δ掺杂相关的光谱结构的影响,观察到了Si-δ掺杂结构中,价带连续态到导带半V-形势阱中子带的跃迁,观察到该跃迁相随掺杂浓度增加先向高能移动,而后达到饱和.用简单的三角势模型,在理论上计算了面掺杂浓度2.4×1014cm-2时,半V-形势阱中子带的能级位置,波函数的分布及光吸收系数,与实验结果相一致.
|