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Keywords: 量子阱激光器,腔面镀膜,实验
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用电子束反应蒸发法制备的aSi∶H膜和Al2O3膜组成的aSi∶H/Al2O3膜系,解决了aSi/Al2O3膜系在808nm波长有较强光吸收问题,吸收系数从2e3cm-1降低到可以忽略的程度.aSi∶H膜的光学带隙为1.74eV左右.应用到808nm大功率量子阱激光器腔面镀膜上,其器件光电性能获得较大改善
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