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ISSN: 2333-9721
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水分子在Si（100）面上吸附位的确定

Keywords: 硅（100）,水分子,吸附,半导体,表面

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Abstract:

本文用Ｓｉ６６Ｈ５０原子集团模拟Ｓｉ（１００）表面，采用ＣＮＤＯ分子轨道理论方法计算了Ｈ２Ｏ在其上吸附的势能面．确定出Ｈ２Ｏ在Ｓｉ（１００）表面的最佳吸附位为洞位．在桥位Ⅰ、桥位Ⅱ和顶位上吸附时势能依次升高．

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