Dispersive Characteristics of Surface Acoustic Waves for Measuring Mechanical Properties of Low-k Dielectrics Used in ULSI
表征ULSI低介电常数互连材料机械特性的表面波频散特性

Keywords: 低介电常数介质,表面波,频散特性,杨氏模量

Full-Text   Cite this paper   Add to My Lib

Abstract:

研究了在Si(100)衬底上淀积低k薄膜的分层结构中表面波沿Si［100］和［110］晶向传播的速度-频率色散特性，给出了表面波色散特性的理论推导，得到了低k薄膜的杨氏模量、密度、厚度和泊松常数对色散关系的影响.

Full-Text