%0 Journal Article
%T Dispersive Characteristics of Surface Acoustic Waves for Measuring Mechanical Properties of Low-k Dielectrics Used in ULSI<br>表征ULSI低介电常数互连材料机械特性的表面波频散特性
%A Li Zhiguo
%A Xiao Xia
%A Zhang Xinhui
%A Yao Suying
%A <br>李志国
%A 肖夏
%A 张鑫慧
%A 姚素英
%J 半导体学报
%D 2005
%I 
%X 研究了在Si(100)衬底上淀积低k薄膜的分层结构中表面波沿Si［100］和［110］晶向传播的速度-频率色散特性，给出了表面波色散特性的理论推导，得到了低k薄膜的杨氏模量、密度、厚度和泊松常数对色散关系的影响.
%K 低介电常数介质
%K 表面波
%K 频散特性
%K 杨氏模量
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=0FB2122D5E376EB4&yid=2DD7160C83D0ACED&vid=96C778EE049EE47D&iid=F3090AE9B60B7ED1&sid=D9AB0F6064BF4261&eid=59C77779BF483289&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=3&reference_num=10