微机械梁内应力测量方法的研究

本文提出了两种测量悬空薄膜内应力的新方法：阈值电压法和长梁挠曲法．对两种方法进行了理论分析与实验验证，并与已有的应力测量方法进行了对比，取得了吻合的结果．这两种方法测试非常简单，且可实现薄膜内应力的＂片内＂检测．其中，阈值电压法既能测膜的张、压应力，也能提取材料的弹性模量，这使它成为一种非常有吸引力的应力测量方法．