%0 Journal Article
%T 微机械梁内应力测量方法的研究
%A 邹泉波
%A 刘理天
%A 李志坚
%J 半导体学报
%D 1995
%I 
%X 本文提出了两种测量悬空薄膜内应力的新方法：阈值电压法和长梁挠曲法．对两种方法进行了理论分析与实验验证，并与已有的应力测量方法进行了对比，取得了吻合的结果．这两种方法测试非常简单，且可实现薄膜内应力的＂片内＂检测．其中，阈值电压法既能测膜的张、压应力，也能提取材料的弹性模量，这使它成为一种非常有吸引力的应力测量方法．
%K 应力测量
%K 微机械
%K 梁
%K 传感器
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=BAC80623889449B5&yid=BBCD5003575B2B5F&vid=7801E6FC5AE9020C&iid=DF92D298D3FF1E6E&sid=4ECB3941871FD391&eid=AF0641F74554D706&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=2&reference_num=1