氧化物中固定电荷对硅场致发射的影响

本文给出了硅表面覆盖氧化层时，场发射电流的解析公式．考虑了固定氧化物电行时场致发射的影响．结果表明，氧化物和固定电荷均使场发射电流减小，场发射Ｆｏｗｌｅｒ－Ｎｏｒｄｈｅｉｍ图中有两个明显的线性区．