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ISSN: 2333-9721
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半导体学报 1991

GaAs/GaAlAs反应离子刻蚀腔面激光器

庄婉如,杨培生,陈纪瑛,李建中

Keywords: GaAs／GaAlAS,离子刻蚀,腔面,激光器

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Abstract:

采用反应离子刻蚀GaAs/GaAlAs双异质结构激光器的一个腔面,已经获得室温下连续激射的效果,其阈电流比解理腔面高18％左右,量子效率低14％左右.

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