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ISSN: 2333-9721
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Si晶格常数超高精度传递测量中的标准晶体及制备

Keywords: 硅晶格,测量,标准晶体,制造

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Abstract:

用XROI(X-Ray/Optics Interferometry)法测得高精度的Si(220)面间距,22.5℃为192015.902±0.019 fm.并发展了晶格常数超高精度测量传递方法.本文根据传递测量的原理及测量技术阐明了对标准晶体制备的要求.文中给出了我们的标准晶体的尺寸,一个样品晶体的测量曲线.

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