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OALib Journal期刊
ISSN: 2333-9721
费用：99美元
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A RF Integrated Inductor with CoZrO Ferrite Thin Film
硅基CoZrO铁氧体磁膜结构RF集成微电感
Yang Chen, Liu Feng, Ren Tianling, Liu Litian, Feng Haigang, Wang Zihui, Long Haibo, Yu Jun,
杨晨, 刘锋, 任天令, 刘理天, 冯海刚, 王自惠, 龙海波, 于军
Keywords: CoZrO ferrite,magnetic thin-film,RF integration
CoZrO铁氧体,磁膜结构,射频集成,硅基,铁氧体,磁膜结构,射频集成,微电感,Ferrite,Thin,Film,品质因数,测试结果,结构参数,样品,工艺兼容,制作工艺,结构简单,膜层,绝缘层,线圈,金属,平面,磁性薄膜,法制
Abstract:
制作了一种新型磁膜结构射频集成微电感.该电感使用溶胶-凝胶法制备的CoZrO铁氧体作为磁性薄膜;采用平面单匝形式的金属线圈,从而形成"SiO2绝缘层/磁膜层(CoZrO)/SiO2绝缘层/Cu线圈"的结构,具有结构简单、制作工艺与常规集成工艺兼容等特点.同时,采用相同工艺同批制作了无磁膜微电感作为对比样品,并取各项结构参数与磁膜电感相一致.测试结果表明,2GHz处,磁膜结构微电感的感值(L)为1.75nH、品质因数(Q)为18.5,与无磁膜微电感相比,L和Q的值分别提高了25%和23%. Full-Text
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