%0 Journal Article
%T A RF Integrated Inductor with CoZrO Ferrite Thin Film<br>硅基CoZrO铁氧体磁膜结构RF集成微电感
%A Yang Chen
%A Liu Feng
%A Ren Tianling
%A Liu Litian
%A Feng Haigang
%A Wang Zihui
%A Long Haibo
%A Yu Jun
%A <br>杨晨
%A 刘锋
%A 任天令
%A 刘理天
%A 冯海刚
%A 王自惠
%A 龙海波
%A 于军
%J 半导体学报
%D 2005
%I 
%X 制作了一种新型磁膜结构射频集成微电感.该电感使用溶胶-凝胶法制备的CoZrO铁氧体作为磁性薄膜;采用平面单匝形式的金属线圈,从而形成"SiO2绝缘层/磁膜层(CoZrO)/SiO2绝缘层/Cu线圈"的结构,具有结构简单、制作工艺与常规集成工艺兼容等特点.同时,采用相同工艺同批制作了无磁膜微电感作为对比样品,并取各项结构参数与磁膜电感相一致.测试结果表明,2GHz处,磁膜结构微电感的感值(L)为1.75nH、品质因数(Q)为18.5,与无磁膜微电感相比,L和Q的值分别提高了25%和23%.
%K CoZrO ferrite
%K magnetic thin-film
%K RF integration<br>CoZrO铁氧体
%K 磁膜结构
%K 射频集成
%K 硅基
%K 铁氧体
%K 磁膜结构
%K 射频集成
%K 微电感
%K Ferrite
%K Thin
%K Film
%K 品质因数
%K 测试结果
%K 结构参数
%K 样品
%K 工艺兼容
%K 制作工艺
%K 结构简单
%K 膜层
%K 绝缘层
%K 线圈
%K 金属
%K 平面
%K 磁性薄膜
%K 法制
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=E85B8439DF5CCA1D&yid=2DD7160C83D0ACED&vid=96C778EE049EE47D&iid=708DD6B15D2464E8&sid=A1422FF8DA61F4C2&eid=A3E26DBFF210DD2D&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=14