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Keywords: Ⅱ—Ⅵ族化合物,分子束外延,SIMS、RHEED,X光衍射,晶向偏角
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本文报道了单晶ZnSe、ZnTe和CdTe薄膜在Ge(100)衬底上的MBE生长,用RHEED观察了其生长规律,并对样品作了X光衍射及SIMS等测试分析。观察到衬底与外延层之间存在晶向偏角。对这一现象进行了理论解释。
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