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ISSN: 2333-9721
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半导体学报 1997

硅基双色发光图形的研制

李宁生,鲍希茂,廖良生,王振飞

Keywords: 双色发光图形,硅基,光电子材料,硅单晶

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Abstract:

本文提出一种制作硅基发光图形的方法，利用SiO2作掩膜，通过C+离子选区注入，退火处理及电化学腐蚀，使样品的单晶区形成多孔硅红-绿色发光区，注C+区域形成多孔SiC的蓝光发射区域，构成双色发光图形．

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