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OALib Journal期刊
ISSN: 2333-9721
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A Novel Versatile Micromirror with Multi-Movement Mode
具有多运动自由度的新型多功能微镜

Keywords: MEMS,micromirror,phase modulation,amplitude modulation,T type beam
微机电系统
,微镜,相位调制,强度调制,T型梁

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Abstract:

基于多层硅表面微加工技术,设计并制造了一种全新的微镜结构,它由底电极层、支撑层和镜面层构成.支撑层采用对称布置的双T型梁结构,能提供垂直方向的平动和绕两水平轴的转动,从而实现微镜对入射光的强度调制和相位调制功能.测试结果表明,微镜能获得最大2μm的平动范围,同时其绕两水平轴的转动角度分别为±2.3°和±1.45°.此外,通过进一步增大牺牲层的厚度,可以很容易地使微镜获得更大的变形范围.

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