A Novel Versatile Micromirror with Multi-Movement Mode
具有多运动自由度的新型多功能微镜

基于多层硅表面微加工技术，设计并制造了一种全新的微镜结构，它由底电极层、支撑层和镜面层构成．支撑层采用对称布置的双T型梁结构，能提供垂直方向的平动和绕两水平轴的转动，从而实现微镜对入射光的强度调制和相位调制功能．测试结果表明，微镜能获得最大2μｍ的平动范围，同时其绕两水平轴的转动角度分别为±2.3°和±1.45°．此外，通过进一步增大牺牲层的厚度，可以很容易地使微镜获得更大的变形范围．