%0 Journal Article
%T A Novel Versatile Micromirror with Multi-Movement Mode<br>具有多运动自由度的新型多功能微镜
%A Yu Hongbin
%A Chen Haiqing
%A <br>余洪斌
%A 陈海清
%J 半导体学报
%D 2005
%I 
%X 基于多层硅表面微加工技术，设计并制造了一种全新的微镜结构，它由底电极层、支撑层和镜面层构成．支撑层采用对称布置的双T型梁结构，能提供垂直方向的平动和绕两水平轴的转动，从而实现微镜对入射光的强度调制和相位调制功能．测试结果表明，微镜能获得最大2μｍ的平动范围，同时其绕两水平轴的转动角度分别为±2.3°和±1.45°．此外，通过进一步增大牺牲层的厚度，可以很容易地使微镜获得更大的变形范围．
%K MEMS
%K micromirror
%K phase modulation
%K amplitude modulation
%K T type beam<br>微机电系统
%K 微镜
%K 相位调制
%K 强度调制
%K T型梁
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=DFE989E833F6B9BA&yid=2DD7160C83D0ACED&vid=96C778EE049EE47D&iid=E158A972A605785F&sid=43AADF4B53A8BF6F&eid=45D68DF69BA881EC&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=1&reference_num=11