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半导体学报 1996
应变异质结外延材料的缓冲层厚度与Frank-Read源的关系研究Abstract: 基于能量最小近似模型,研究了应变异质结外延材料中,产生Frank-Read源以释放失配应力所需GeSi合金缓冲层的厚度.对GexSi1-x/Si进行了具体计算,其结果表明:产生Frank-Read源时缓冲层厚度要比临界厚度大得多,Lmin=1300A是钉扎点间的最小距离.计算结果与LeGoues等的实验结果相符.就作者所知,计算产生Frank-Read源时GeSi合金缓冲层厚度的工作,以前未见报道.
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