%0 Journal Article %T 应变异质结外延材料的缓冲层厚度与Frank-Read源的关系研究 %A 邹吕凡 %A 王占国 %A 范缇文 %J 半导体学报 %D 1996 %I %X 基于能量最小近似模型,研究了应变异质结外延材料中,产生Frank-Read源以释放失配应力所需GeSi合金缓冲层的厚度.对GexSi1-x/Si进行了具体计算,其结果表明:产生Frank-Read源时缓冲层厚度要比临界厚度大得多,Lmin=1300A是钉扎点间的最小距离.计算结果与LeGoues等的实验结果相符.就作者所知,计算产生Frank-Read源时GeSi合金缓冲层厚度的工作,以前未见报道. %U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=7159BF1B4294A102&yid=8A15F8B0AA0E5323&vid=BCA2697F357F2001&iid=38B194292C032A66&sid=50BBDFAC8381694B&eid=6235172E4DDBA109&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=0