|
|
半导体学报 2004
A Novel Approach to Synthesizing Porous ZnO Films:Inorganic Chelating Sol-Gel Method
|
Abstract:
利用无机络合溶胶-凝胶法制备多孔Zn O薄膜,同时利用多种测试手段对薄膜的晶体结构、表面形貌、多孔和光学性能进行了研究.XRD和SEM的测试结果表明,Zn O薄膜的晶体结构为六方纤锌矿,薄膜表面呈多孔状.由孔径分布曲线得出薄膜的孔主要集中在介孔2 .0 2 nm和4 .97nm ;5 0 0℃煅烧得到的Zn O薄膜的比表面积是2 7.5 7m2 /g;在不同温度下煅烧的薄膜在可见光区域透射率均高于85 % ,光学带宽为3.2 5 e V.
